半导体

Physical Vapor Deposition物理气相沉积

物理气相沉积 的英文是 Physical Vapor Deposition

领域:半导体

常见误译:常见误译是把 PVD 译成“物理蒸镀”,让蒸发和溅射共用“蒸镀”一词,忽略工艺差异;也有人在设备界面简单译成“物理镀膜”,丢失真空沉积的含义。

物理气相沉积是一种真空镀膜技术,通过溅射、蒸发或离子轰击使固体源材料气化,再在晶圆表面凝结成薄膜。半导体制造文档中,PVD 常用于阻挡层、种子层和互连金属等金属膜,关注膜厚、台阶覆盖和均匀性。

这个术语出现在哪里

该术语出现在晶圆制造流程文件、设备规格书、工艺整合文档和材料工艺培训中。翻译内容涉及沉积配方参数、靶材名称、溅射腔体说明、维护提示,以及工艺集成章节里与 CVD、ALD 的对比。

最常见的处理错误

常见误译是把 PVD 译成“物理蒸镀”,让蒸发和溅射共用“蒸镀”一词,忽略工艺差异;也有人在设备界面简单译成“物理镀膜”,丢失真空沉积的含义。溅射和蒸发对薄膜特性影响不同,混用会误导配方理解与设备操作。

为什么一致性呈现至关重要

术语必须在数据手册、设计套件和专利申请中保持一致。任何一个参数不一致都可能传导至制造决策,或削弱专利权利要求;同时,知识产权保密要求适用于整个链条中的每一份文件。

天使翻译在专家审校开始前,会将此类术语锁定至项目术语库,确保同一源术语在提交的所有文档中保持一致。

英文Physical Vapor Deposition
简体中文物理气相沉积
领域半导体
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