数值孔径 的英文是 Numerical Aperture
领域：半导体
常见误译：常见错误是把 numerical aperture 译成「数字孔径」。
数值孔径是衡量光学系统收集光线能力的参数，缩写为 NA，等于介质折射率与最大半孔径角正弦值的乘积。在光刻中，数值孔径越大，可分辨的最小线宽越小，但焦深随之变浅，因此提高分辨率与保证工艺窗口之间始终需要权衡。
数值孔径出现在光刻机规格书、光刻工艺开发文件、分辨率与焦深分析以及设备采购技术协议中。翻译时常与波长、工艺因子、焦深一起出现在瑞利公式相关段落，缩写 NA 与数值应原样保留，不要换成中文描述。
常见错误是把 numerical aperture 译成「数字孔径」。这里的 numerical 指「数值上的」，与数字化无关，「数字孔径」会让读者误以为是某种数字光学概念。另一个问题是把 high-NA 直译成「高孔径」，漏掉「数值」二字，与相机镜头的光圈概念相混。
术语必须在数据手册、设计套件和专利申请中保持一致。任何一个参数不一致都可能传导至制造决策，或削弱专利权利要求；同时，知识产权保密要求适用于整个链条中的每一份文件。
天使翻译在专家审校开始前，会将此类术语锁定至项目术语库，确保同一源术语在提交的所有文档中保持一致。