量测 的英文是 Metrology
领域:半导体
常见误译:常见错误是把 metrology 一律译成“测量”,丢掉了量测设备、量测站点和工艺监控这层专门含义。
量测是半导体制造中对关键尺寸、膜厚、套刻精度和其他结构做精密测量,用来监控常规工艺、发现变异并确认工艺窗口。在制程文件中,它常见于检测计划、统计过程控制图、设备校准记录、良率报告和异常调查中,与光刻、刻蚀、沉积和 CMP 步骤相关。
量测出现在工艺控制计划、设备手册、良率管理演示和供应商审核检查表的本地化中。译者会接触套刻量测、关键尺寸量测、膜厚量测和散射量测等术语。需要把量测与检查区分开,避免用模糊的质量用语掩盖数据的定量性质。
常见错误是把 metrology 一律译成“测量”,丢掉了量测设备、量测站点和工艺监控这层专门含义。还有人因拼写相近误写成“气象学”。在制程规范里,这类错误会让校准和检测文档显得不专业或产生歧义。
术语必须在数据手册、设计套件和专利申请中保持一致。任何一个参数不一致都可能传导至制造决策,或削弱专利权利要求;同时,知识产权保密要求适用于整个链条中的每一份文件。
天使翻译在专家审校开始前,会将此类术语锁定至项目术语库,确保同一源术语在提交的所有文档中保持一致。