半导体

Critical Dimension关键尺寸

关键尺寸 的英文是 Critical Dimension

领域:半导体

常见误译:常见错误是把 CD 展开为“光盘”或解释成“关键距离”,在半导体量测语境中完全错误。

关键尺寸是制造工艺必须控制的最小特征尺寸或线宽,通常以纳米为单位,并在光刻或蚀刻之后量测。它出现在半导体文档中的工艺规范、量测报告、统计过程控制图和设计规则检查里,主要关注 CD 均匀性、偏差和目标偏移。

这个术语出现在哪里

关键尺寸出现在工艺规范、量测配方、光学邻近效应修正模型和设计规则文件中。翻译时常见于晶圆厂量测指导、CD-SEM 设备界面、统计过程控制报告和质量记录,需确保 CD 数值、目标偏移与均匀性指标和源文档图片、数据保持一致。

最常见的处理错误

常见错误是把 CD 展开为“光盘”或解释成“关键距离”,在半导体量测语境中完全错误。另一个问题是在配方和界面里缩写与全称不统一,导致 CD、线宽和目标偏移对不上图纸与数据,影响操作和审阅。

为什么一致性呈现至关重要

术语必须在数据手册、设计套件和专利申请中保持一致。任何一个参数不一致都可能传导至制造决策,或削弱专利权利要求;同时,知识产权保密要求适用于整个链条中的每一份文件。

天使翻译在专家审校开始前,会将此类术语锁定至项目术语库,确保同一源术语在提交的所有文档中保持一致。

英文Critical Dimension
简体中文关键尺寸
领域半导体
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术语释义与指南供项目沟通参考;具体用词、适用要求和交付范围需结合文件用途确认。

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