抗反射涂层 的英文是 Anti-Reflective Coating
领域：半导体
常见误译：常见错误是把 ARC 译成「防反光涂层」或「减反射膜」而不加区分。
抗反射涂层是涂在光刻胶下方或上方、用来抑制曝光光线在膜层界面反射的薄层，缩写为 ARC。位于胶下的称底部抗反射涂层，位于胶上的称顶部抗反射涂层。它能减少驻波和反射造成的线宽波动，是深紫外光刻中控制关键尺寸的常规手段。
抗反射涂层出现在光刻工艺规程、材料规格书、涂胶显影设备配方和线宽控制报告中。翻译时常见 BARC、TARC 等缩写，文件中也会给出膜厚与折射率等光学参数，缩写与参数符号应保留原样。
常见错误是把 ARC 译成「防反光涂层」或「减反射膜」而不加区分。「减反射膜」多用于光学镜片和太阳能电池，放在光刻文件里容易让读者联想到其他领域的器件。另一个问题是把 BARC 与 TARC 位置译反，而两者的材料和去除方式并不相同。
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