晶圆切割 的英文是 Wafer Dicing
领域:半导体
常见误译:常见误译是把 wafer dicing 一律译成‘晶圆切割’,忽略了在广义分离步骤中标准术语‘singulation’(单片化)的用法。
晶圆切割是沿划片槽把已完成加工的晶圆分离成单颗裸片的工序,常用金刚石锯片、激光或等离子方式。它主要出现在封装组装流程、作业指导书和质量文件中,规定分离方法、崩边控制和切割道宽度。
晶圆切割出现在封装组装流程、划片设备手册、作业指导书和来料检验文件中。质量和良率报告里也会谈到芯片边缘损伤、崩边和切割道宽度变化,OSAT 和封测厂的本地化内容尤其常见,通常与芯片粘接、晶圆减薄等术语一起出现。
常见误译是把 wafer dicing 一律译成‘晶圆切割’,忽略了在广义分离步骤中标准术语‘singulation’(单片化)的用法。还有人把 dicing 等同于‘划片’;划片通常指先形成沟槽或断裂线,不一定完全分离,混用会改变工艺含义。
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